多项选择题
刻蚀过程中聚合物形成的来源有（）。
A.光刻胶B.Si衬底C.刻蚀气体中的碳和其它物质组成的化合物D.刻蚀溶液
多项选择题 掺杂后，退火的目的是（）。
多项选择题 常压的硅外延方法有（）。
单项选择题 刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）
