多项选择题
掺杂后，退火的目的是（）。
A.实现电激活B.修复损伤C.提高掺杂均匀性D.加大损伤
多项选择题 常压的硅外延方法有（）。
单项选择题 刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）
单项选择题 注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
