单项选择题 注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

单项选择题 掺杂后退火时间一般在（）。

单项选择题 当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。