问答题
为什么删氧要用热生长？
因为栅氧与其下的Si具有高质量和稳定性的特点，栅氧一般通过热生长获得。
问答题 描述场氧化层及其厚度范围。
问答题 生长氧化层和淀积氧化层间的区别是什么？
问答题 什么是浅槽隔离（STI），它取代了什么工艺？
