问答题
描述场氧化层及其厚度范围。
场氧化层:抑制金属层的电荷堆积的厚氧化层 范围:2500~12000 * 10^-10(A上面一个圈) 之间
问答题 生长氧化层和淀积氧化层间的区别是什么?
问答题 什么是浅槽隔离(STI),它取代了什么工艺?
问答题 离子注入后进行退火工艺的原因是什么?