多项选择题
使用氦气检漏的原因是（）。
A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散
多项选择题 UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？
多项选择题 油扩散泵的优点是什么（）？
多项选择题 离子溅射泵的特点是什么（）？
