多项选择题
油扩散泵的优点是什么（）？
A.构造简单、故障少B.价格低廉C.低振动低噪音D.可高速运转
多项选择题 离子溅射泵的特点是什么（）？
多项选择题 属于高真空泵的是哪一种（）？
多项选择题 油扩散泵的缺点是什么（）？
