多项选择题
UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
多项选择题 油扩散泵的优点是什么（）？
多项选择题 离子溅射泵的特点是什么（）？
多项选择题 属于高真空泵的是哪一种（）？
