多项选择题
离子溅射泵的特点是什么()?
A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音
多项选择题 属于高真空泵的是哪一种()?
多项选择题 油扩散泵的缺点是什么()?
多项选择题 检漏仪灵敏度下降的原因有()。