单项选择题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量B.温度C.剂量D.质量
单项选择题 掺杂后退火时间一般在（）。
单项选择题 当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。
多项选择题 下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）
