问答题
如果热生长氧化层厚度为2000A,那么Si消耗多少?
920A(每生长1000A的氧化物,就有460A的硅被消耗)
问答题 列出热氧化物的硅片制造的六种用途,并给出各种用途的目的。
问答题 为什么删氧要用热生长?
问答题 描述场氧化层及其厚度范围。