问答题
列出热氧化物的硅片制造的六种用途，并给出各种用途的目的。
金属层间绝缘阻挡层：用做金属连线间的保护层。注入屏蔽氧化层：用于减小注入够到和损伤。势氧化层：做......
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问答题 为什么删氧要用热生长？
问答题 描述场氧化层及其厚度范围。
问答题 生长氧化层和淀积氧化层间的区别是什么？
