单项选择题 为了实现全局平坦化，在集成电路中，经常采用（）工艺。

单项选择题 以下工艺中，方块电阻是一个重要的参数，一般用于衡量（）工艺中杂质情况。

单项选择题 在制作MOS管时，采用LOCOS工艺容易出现（）。