问答题
列出Si/Si02 界面处的4种氧化物电荷。
正的电荷。 负的电荷。 界面陷阱电荷。 可移动氧化物电荷。
问答题 如果热生长氧化层厚度为2000A，那么Si消耗多少？
问答题 列出热氧化物的硅片制造的六种用途，并给出各种用途的目的。
问答题 为什么删氧要用热生长？
