问答题
显影为何要进行检查？
区分哪些有很低可能性通过最终掩膜检验的衬底，提供工艺性能和工艺控制数据，以及分拣出需要重做的衬底
问答题 显影检查内容有哪些？
问答题 影响显影的主要因素？
问答题 光刻工艺包括哪些工艺？
