问答题
显影检查内容有哪些？
检查内容：掩膜版选用是否正确、光刻胶层得质量是否满足要求、图形的质量、套刻精度是否满足要求
问答题 影响显影的主要因素？
问答题 光刻工艺包括哪些工艺？
问答题 何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求？
