问答题
光刻工艺包括哪些工艺？
底膜处理、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶、检验
问答题 何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求？
问答题 离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
问答题 离子注入主要部件有哪些？
