单项选择题
下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标？（）
A.金属离B.微粒C.纯度D.浓度
单项选择题 如下哪个选项不是半导体器件制备过程中的主要污染物？（）
单项选择题 目前制备SOI材料的主流技术有几种？（）
单项选择题 硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项？（）
