问答题
有哪些损伤类型？
损伤类型：空位、间隙原子、间隙杂质原子、替位杂质原子等缺陷和衬底晶体结构损伤。
问答题 什么是沟道效应？
问答题 如何降低沟道效应？
问答题 与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
