问答题
与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
1.可在较低的温度下，将各种杂质掺入到不同的半导体中；2.能够精确控制晶圆片内杂质的浓度分布和注入的深度；......
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问答题 扩散源有哪些存在形态？
问答题 热扩散机制有哪些？
问答题 氧化膜厚度的测定方法？
