问答题
如何降低沟道效应？
减少沟道效应的措施：（1）对大的离子，沿沟道轴向（110）偏离7－10o；（2）用Si，Ge，F......
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问答题 与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
问答题 扩散源有哪些存在形态？
问答题 热扩散机制有哪些？
