问答题
什么是沟道效应？
对晶体靶进行离子注入时，当离子注入的方向与靶晶体的某个晶向平行时，其运动轨迹将不再是无规则的，而是将沿沟道运动并且很少受......
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问答题 如何降低沟道效应？
问答题 与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
问答题 扩散源有哪些存在形态？
