单项选择题 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

单项选择题 工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。

单项选择题 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。