单项选择题
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
a.离子束刻蚀、激光刻蚀 b.干法刻蚀、湿法刻蚀 c.溅射加工、直写加工
单项选择题 工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。
单项选择题 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
单项选择题 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
