单项选择题
工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。
a.气压传动机器人 b.液压传动机器人 c.电器传动机器人 d.智能机器人
单项选择题 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
单项选择题 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
单项选择题 光刻加工的工艺过程为：（）
