单项选择题
光刻时,将掩模版直接放在晶圆表面,与表面的光刻胶接触,该种光刻方式称为()。
A.接触式B.接近式C.投影式D.步进式
单项选择题 源漏注入之后,必须进行()工艺,修复晶格损伤,激活杂质。
单项选择题 未进行掺杂的二氧化硅薄膜,通常简写为()。
单项选择题 我们利用LOCOS技术制作MOS中的()。