问答题
描述投影掩膜版和光掩膜版的区别?
投影掩膜版它包括了要在硅片上重复生成的图形。这种图形可能仅包含一个管芯,也可能是几个光掩膜版通常称为掩膜版,包含了对于整......
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问答题 什么是LOCOS和STI(写中英文全称),为什么在高级IC中STI取代了LOCOS,列举STI的工艺步骤。
问答题 解释HDPCVD中同步沉积和刻蚀。典型深宽比的值是什么?
问答题 描述硅片偏置对HDPCVD方向性的影响。