多项选择题 热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。

多项选择题 真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）

多项选择题 与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。