多项选择题 ‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。

多项选择题 不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。

单项选择题 欲在一批小尺寸的基板上用小平面源蒸发沉积厚度一致的薄膜，基板相对于蒸发源应该放置在（）。