多项选择题 真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）

多项选择题 与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。

多项选择题 ‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。