问答题
解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
线性氧化物速率依赖于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在线性阶段，（111）硅单晶的氧化速率......
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问答题 掺杂对氧化物生长的影响是什么？
问答题 举出氧化工艺中掺氯的两个优点。
问答题 列出Si/Si02界面处的4种氧化物电荷。
