填空题
压电驱动技术是（）和（）在机械领域的应用。
压电学；超声学
填空题 CIMS分成五个层次，即（）、（）、（）、（）和设备级。
填空题 CIMS的三大特征分别为（）、（）、（）。
填空题 PDM四层体系结构分别为：第一层（）、第二层（）、第三层（）、第四层（）。用
