单项选择题
不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。
A.分子流B.原子流C.紊流D.层流
单项选择题 以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）
判断题 对于LPCVD Si3N4工艺，NH3/DCS比例越小颗粒改善越明显。（）
判断题 在LPCVD Si3N4制程中，增加总压力和DCS的分压可以增加淀积速度。（）
