问答题
简述立式炉系统的五部分。
工艺腔，硅片传输系统，气体分配系统，尾气系统，温腔系统
问答题 压力对氧化物生长的影响是什么？
问答题 解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
问答题 掺杂对氧化物生长的影响是什么？
