问答题
压力对氧化物生长的影响是什么?
生长速率随着压力增大而增大。高压强迫使氧原子更快地穿越正在生长的氧化层,这对线性和抛物线速率系数的增加很重要。这就允许降......
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问答题 解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
问答题 掺杂对氧化物生长的影响是什么?
问答题 举出氧化工艺中掺氯的两个优点。