多项选择题
可以采取哪种方法来提高光刻分辨率（）
A.增长光源波长B.增大分辨率系数C.减小分辨率系数D.缩短光源波长
多项选择题 下列哪个工艺方法应用了等离子体技术（）
单项选择题 实际VPE工艺温度多在质量传递控制区，此时外延速率（）
判断题 涂胶前的打底膜是为了增强光刻胶与衬底之间的浸润性。
