单项选择题
实际VPE工艺温度多在质量传递控制区,此时外延速率()
A.对温度不太敏感B.对温度非常敏感C.源的气相扩散的影响不大D.源气体分压的影响不大
判断题 涂胶前的打底膜是为了增强光刻胶与衬底之间的浸润性。
判断题 实际扩散工艺通过调整炉温比调整扩散时间对结深的影响更大。
判断题 中子嬗变掺杂不能用于制备p型硅锭。