问答题
旋涂碗不动应检查什么？
检查旋涂碗可自动运行是否打开，检查驱动器是否报警，上方看碟传感器是否正常。
问答题 当旋涂第二机械手不取片应检查什么？
问答题 旋涂机手臂不动作如何处理？
问答题 旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？
