问答题
当旋涂第二机械手不取片应检查什么？
检查吸咀的情况；检查真空度；检查注塑机械手到第二机械手的位置。
问答题 旋涂机手臂不动作如何处理？
问答题 旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？
问答题 7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？
