问答题
旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？
（1）检查手臂吸嘴是否正常； （2）手臂位置是否正确； （3）手臂真空是否正常。
问答题 7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？
问答题 如何更换Arm手臂的吸碟头？
问答题 烘炉Arm手臂放片不好，如何调整？
