单项选择题
进行沟槽填充常用的金属材料是（）。
A.铜B.铝C.钨D.金
单项选择题 化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）
多项选择题 CMP的设备构成包括（）。
多项选择题 新的平坦化方法有哪几个？（）
