问答题
沉积多晶硅栅材料采用什么CVD工具，列举多晶硅作为栅电极的6个原因。
采用LPCVD工具；1.通过掺杂可得到特定的电阻；2.和二氧化硅优良的界面特性；3.......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 解释APCVD，使用APCVDSiO2的主要问题是什么，是用硅烷作为反应源吗？
问答题 列出沉积的5种主要技术。
问答题 列举并描述薄膜生长的三个阶段。
