多项选择题
检漏仪分析管的离子源作用有（）。
A.电离气体分子B.接受气体离子C.给电离子加速D.测试气体离子
多项选择题 分子泵的控制器和泵体集成化以后有哪些优点（）？
多项选择题 UTM300B 泵的特点是什么（）？
多项选择题 离子溅射泵优点是什么（）？
