多项选择题
分子泵的控制器和泵体集成化以后有哪些优点（）？
A.部品（配线和线架）可削减B.配线整理作业可削减C.指定配线等的管理工数部品在库数可削减D.不只是设备侧的远程控制、也可进行本地操作
多项选择题 UTM300B 泵的特点是什么（）？
多项选择题 离子溅射泵优点是什么（）？
多项选择题 对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。
