判断题
溅射与蒸发过程中真空度大小直接影响制品反射率情况。（）
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判断题 蒸发淀积多元化合金薄膜时，可较好控制其化学成分。（）
判断题 P1848设备TEOS水浴加热后通过He携带进入腔体与O2气发生反应生成SiO2。（）
判断题 溅射淀积工艺的金属台阶覆盖要比蒸发淀积的台阶覆盖更好。（）
