多项选择题
RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？
A.放电不稳定B.匹配不稳定C.Pr 残存D.成膜慢
多项选择题 下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。
多项选择题 下列属于热阴极电离真空计的是（）。
多项选择题 EnDpointDeteCtion 方法有（）。
