多项选择题
下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。
A.RF 电源B.DC 电源C.MF 电源D.EB 电源
多项选择题 下列属于热阴极电离真空计的是（）。
多项选择题 EnDpointDeteCtion 方法有（）。
多项选择题 检漏仪分析管的离子源作用有（）。
