单项选择题 欲在一批小尺寸的基板上用小平面源蒸发沉积厚度一致的薄膜，基板相对于蒸发源应该放置在（）。

单项选择题 真空蒸发中常用的电阻蒸发金属发热材料不包括（）。‌‏‌

单项选择题 在溶液镀膜法中各列举一个制备Al2O3薄膜的方法是（）。