问答题
列出芯片厂中6个不同的生产区域并对每一个区域做简单的描述。
扩散：扩散区一般认为是进行高温工艺及薄膜沉积的区域。刻：使用黄色莹光管照明使得光刻区与芯片厂中的其他各个区明......
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问答题 什么是等离子体，为什么要在等离子体中使用RF能量？
问答题 什么是外延层，为什么在硅片上使用它？
问答题 列举硅片的七种质量要求。
