问答题
什么是等离子体，为什么要在等离子体中使用RF能量？
等离子是一种中性，高能量，离子化的气体，包含中性原子或分子，带电离子和自由电子。RF能量的使用可以产生一个高......
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问答题 什么是外延层，为什么在硅片上使用它？
问答题 列举硅片的七种质量要求。
问答题 定义晶体生长，什么是CZ单晶生长法？
